Park NX 20 300 mmは業界革新型の大サンプル原子間力顕微鏡であり、300 mm×300 mmの全過程の機動化をサポートしている。新しくアップグレードされたPark NX 20システムは、故障分析と品質制御実験室のために設計されており、300 mmウェハ全体を効果的に検出することができ、面倒なサンプル変位は必要ありません。300 mmサンプルをサポートする機動XYテーブルを拡張したが、Parkの革新的な振動隔離技術は依然としてシステムノイズを0.5（Å）RMS未満、通常0.3ÅRMSのレベルに維持することができる。

使用可能 300 mmウェハのウェハ測定と分析のためのハイエンド自動化ナノ測定ツール

・サポート200mmx200mmまたは300mmx300mmの全自動原子間力顕微鏡

・手動でサンプルを移動することなくサンプル上の各点の精密測定を実現

·Park NX20300 mm故障分析と品質管理のために設計されている

・独自の工業試験ソフトウェアはサンプルの全自動大量測定を実現でき、NX20検出プロセスが効率的で使いやすくなる

大サンプルウエハ検出用に作られた

NX 20 300 mmは新しい設計を行い、大サンプルの高精度測定を可能にした。300 mmウエハ領域全体で低雑音原子間力顕微鏡測定分析を行うことができる。これにより、エンジニアがより迅速に、より簡単に、より正確に作業を行うことができるように、新しい自動測定範囲が開きます。

フレキシブル300 mmサンプル吸盤

Park NX 20 300 mm真空チャックはさまざまなサイズ、形状、タイプのウエハをサポートし、ユーザーがほとんど正確にサンプルをスキャンできるようにします。

300 mm XY軸テーブル

モビリティ300 mm XY軸テーブルにより、ユーザは300 mmの全領域で原子間力顕微鏡の測定位置を移動することができる。

幅広い用途に最適化

NX 20 300 mmは多くの応用のために自動フォーマットの原子間力顕微鏡測定を提供し、ナノスケールのサンプルに正確な測定と分析を提供する。粗さ、高さと深さの測定、欠陥検査、電気と磁気故障の分析、熱性能の特徴付けとナノ力学性能のイメージングなどの能力があり、この原子間力顕微鏡は大試料を検出するFA、QAとQCエンジニアが各種任務を実行する理想的な選択である。